（3）大气类产物方面，目前设备前端模块（EFEM）、目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，人平易近财讯10月5日电，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。已迈入先辈制程产线示范使用阶段；四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。